坐落于合肥市高新区的安徽万瑞冷电科技有限公司（简称“万瑞冷电”），是一家专业从事低温与真空技术和产品研究开发的国家高新技术企业，2024年上榜工信部继续支持专精特新“小巨人”企业。万瑞冷电坚持“以客户为中心，以价值创造者为本，追求卓越，共同成就”的企业精神，在打造“中国的世界低温品牌”道路上行稳致远。

  今年3月，万瑞冷电自主研发的新一代智能型冷泵亮相在上海举行的全球半导体行业盛会，全方面展示了新一代超高真空冷泵、低温温控系统、氦管、溢流阀等半导体专用系列产品及国产化解决方案，吸引了全球头部晶圆厂、设备集成商及行业专家的高度关注。

  万瑞冷电洁净车间内，工人正在调试新一代智能型超高真空冷泵。

  在半导体制造、精密仪器等领域，维持超高真空环境的冷泵被誉为精密工艺的“生命心脏”。面对极端低温、超高真空、精密控制等科技难题，万瑞冷电以“十年磨一剑”的坚韧，持续投入系统研发，成功攻克了高效真空抽气、精密温控算法、超低振动设计及多场景自适应调节等关键技术，推出具有自主知识产权的智能型超高真空冷泵，不仅可快速建立并稳定维持10-7Pa超高真空环境，更实现了30%以上的节能飞跃。

  该型冷泵集成动态温控技术，支持运行状态远程监控、自动化再生控制，进一步优化冷却效率。目前，该产品已成功应用于国内多家主流半导体晶圆厂，在PVD、离子注入等核心装备上实现了两代次冷泵（ICP及ECP系列）的国产化替代，走出一条自主创新的“特色化”之路。

  多年砥砺深耕深低温核心技术、专研氦气提纯分离领域，万瑞冷电依托稀有气体安徽省重点实验室、安徽省低温与真空工程研究中心，主持、参与制定修订国家及行业标准12项，形成了具有自主知识产权的核心技术优势。2024年11月，在中国工业气体工业协会第三十四次会员大会暨2024年年会上，万瑞冷电自主研制发明专利“一种用于空调行业的废氦气回收系统”获授气体行业专利金奖。这一重要创新成果，突破了领域关键性、共性的技术难题，具有能耗低、性价比高、安全性好和自动化程度高等特点。

  万瑞冷电装配人员正在装配国产氦气制取项目关键装置。

  近年来，万瑞冷电还先后研制成功国内首台高纯氦气纯化设备、首台工业领域氦气在线回收提纯循环利用设备、首套联合法天然气提氦装置、首台小型氢氦一体式液化装置，为行业用户提供全方位氦气回收纯化系统解决方案，实现了在高纯氦气工程化应用上从无到有、从有到优的跨越。

  2025年初，万瑞冷电与中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所联手，在可控核聚变关键设备领域实现历史性突破——首台国产连续低温弹丸注入系统成功问世。该系统发射弹丸尺寸精准达每发12立方毫米，频率在1至10赫兹灵活可调，最大发射速度突破每秒300米，综合性能比肩国际顶尖水平。

  2023年，万瑞冷电作为第一完成人的“深低温核心装备关键技术与工程化应用”项目荣膺安徽省科学技术进步一等奖。（吴成军 吴宝琴）